| MIM结构薄膜应变栅的实验研究 |
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| 引用本文： | 于映,陈跃.MIM结构薄膜应变栅的实验研究[J].福州大学学报(自然科学版),1998(2):15-17. |
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| 作者姓名： | 于映 陈跃 |
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| 作者单位： | 福州大学电子科学与应用物理系 |
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| 摘 要： | 运用薄膜沉积技术，制作了ＭＩＭ（金属－介质－金属）结构薄膜应变栅介绍了薄膜应变栅的制作工艺，并对其性能参数进行了测试
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| 关 键 词： | MIM结构 薄膜 应变栅 |
Research of Thin-Film Strain Gauges with Metal-Insulator-Metal Structure |
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| Yu Ying,Chen Yue.Research of Thin-Film Strain Gauges with Metal-Insulator-Metal Structure[J].Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition),1998(2):15-17. |
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| Authors: | Yu Ying Chen Yue |
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| Institution: | Yu Ying Chen Yue(Department of Electronic Science and Applied Physics, Fuzhou University, Fuzhou, 350002) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MIM structure thin film strain gauge |
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