| GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究 |
| |
| 引用本文： | 俞金玲,姜伟,李书平,刘达艺,康俊勇.GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究[J].福州大学学报(自然科学版),2007,35(Z1):15-18. |
| |
| 作者姓名： | 俞金玲 姜伟 李书平 刘达艺 康俊勇 |
| |
| 作者单位： | 福建省半导体材料及应用重点实验室,厦门大学物理系,福建,厦门,361005 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
,
基础科研资助项目
,
国家自然科学基金
,
福建省厦门市科技计划 |
| |
| 摘 要： | 采用椭圆偏振光谱法,在1.5~6.5 eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜.通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数.所得厚度值与扫描电子显微镜测量的结果相差仅为0.4%.表明所采用的模型和Cauchy吸收色散表式适用于GaN薄膜.进一步采用四相逐点拟合算法得到更全面更准确的GaN薄膜光学常数.
|
| 关 键 词： | 椭圆偏振光谱 GaN 薄膜 光学常数 色散模型 |
| 文章编号： | 1000-2243(2007)S0-S015-04 |
| 修稿时间： | 2007年7月18日 |
The optical constants of GaN film investigated by spectroscopic ellipsometry |
| |
| YU Jin-ling,JIANG Wei,LI Shu-ping,LIU Da-yi,KANG Jun-yong.The optical constants of GaN film investigated by spectroscopic ellipsometry[J].Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition),2007,35(Z1):15-18. |
| |
| Authors: | YU Jin-ling JIANG Wei LI Shu-ping LIU Da-yi KANG Jun-yong |
| |
| Institution: | (Fujian Key Laboratory of Semiconductor Materials and Applications, Department of Physics,Xiamen University,Xiamen,Fujian 361005,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《福州大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《福州大学学报(自然科学版)》下载免费的PDF全文 |
|
