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含氟气相体系低压生长金刚石的相图计算
引用本文:
刘志杰,张卫.含氟气相体系低压生长金刚石的相图计算[J].自然科学进展,1999,9(4):378-380.
作者姓名:
刘志杰
张卫
摘 要:
根据非平衡热力学耦合模型计算得出了C-H-F体系金刚石生长相图,该相图与根据经典平衡热力学计算得出的平衡相图不同,存在金刚石生长区,可以很好好地解释在低压C-H-F体系中可以生长金刚石,并与实验结果符合良好,因而对该体系金刚石制备的实验条件选取有指导作用。
关 键 词:
金刚石
气相生长
薄膜
含氟气相体系
低压
相图
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