微波ECR等离子体参数测量及分析

利用双探针测试了微波ＥＣＲ等离子体参数，发现获得大面积均匀等离子体源强烈依赖于轴向磁场梯度，等离子体参数受气压影响亦很大。测量结果与理论分析一致。