| 用于空间光调制器光敏层的a—Si：Hpin二极管的研制 |
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| 引用本文： | 顾晓峰,黄信凡.用于空间光调制器光敏层的a—Si：Hpin二极管的研制[J].南京大学学报(自然科学版),1995,31(2):320-323. |
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| 作者姓名： | 顾晓峰 黄信凡 |
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| 作者单位： | 南京大学物理系 |
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| 摘 要： | 报道了用于光寻址快速空间光调制器光敏层的氢化非晶硅ｐｉｎ光敏二极管的设计、制备及光电特性的研究，制得了符合光敏层要求的ｐｉｎ二极管。
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| 关 键 词： | 半导体薄膜技术，非晶硅，薄膜二极管 |
STUDY OF PREPARATION AND CHARACTERISTICS OF A-SI: H PIN DIODE FOR OASLM'S PHOTOSENSOR |
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| Gu Xiaofeng, Huang Xinfan, Du Jiafang, Li Zhifeng, Chen Kunji.STUDY OF PREPARATION AND CHARACTERISTICS OF A-SI: H PIN DIODE FOR OASLM''S PHOTOSENSOR[J].Journal of Nanjing University: Nat Sci Ed,1995,31(2):320-323. |
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| Authors: | Gu Xiaofeng Huang Xinfan Du Jiafang Li Zhifeng Chen Kunji |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | semiconductor thin film amorphous silicon thin film diode |
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