| 微型齿轮,涡轮等微型机械零件的研制 |
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| 引用本文： | 蒋庄德,李心平.微型齿轮,涡轮等微型机械零件的研制[J].西安交通大学学报,1996,30(7):8-11. |
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| 作者姓名： | 蒋庄德 李心平 |
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| 作者单位： | 西安交通大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,陕西省自然科学基金,西安交通大学青年科学基金资助项目；西安交通大学精细功能电子材料与器件实验室开放基金资助项目 |
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| 摘 要： | 论述了对微型齿轮，微型涡轮和微型悬臂梁等微型机械零件的研制，介绍了通过计算机辅助设计，利用ＩＣ的微细加工技术，采用射频溅射和光刻技术制造微型机械零件的方法。
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| 关 键 词： | 光刻 微型机械 射频溅射 零件 齿轮 涡轮 |
THE MANUFACTURE OF MICRO GEAR, TURBINE AND MICRO MACHINE PARTS |
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| Jiang,Zhuangde,Li,Xinping,Jin,Tao,Yuan,Guoying,Chen,Peiji,Chen,Xiaonan,Wu,Xutang.THE MANUFACTURE OF MICRO GEAR, TURBINE AND MICRO MACHINE PARTS[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,1996,30(7):8-11. |
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| Authors: | Jiang Zhuangde Li Xinping Jin Tao Yuan Guoying Chen Peiji Chen Xiaonan Wu Xutang |
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| Abstract: | The manufacture of micro gear, turbine and micro machine are discussed. The method to make micro machine is introduced, which uses the technology of CAD, radio frequency sputtering and photoetching. |
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| Keywords: | micro machine sputtering photoetching |
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