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| 机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析 | |
| 引用本文： | 钟丽红,王昭,汤善治,高建民,郭俊杰.机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析[J].西安交通大学学报,2013,47(5):99-103. |
| 作者姓名： | 钟丽红 王昭 汤善治 高建民 郭俊杰 |
| 作者单位： | 1. 西安交通大学机械工程学院,710049,西安 2. 西安交通大学机械系统工程国家重点实验室,710049,西安 3. 陕西智能恒通机械有限公司,710049,西安 |
| 基金项目： | 国家科技重大专项资助项目 |
| 摘 要： | 为研究正交偏振光相位法测量机床滚转角过程中,机床的俯仰、偏摆运动误差对测量精度的影响,建立了测量光路数学模型,利用琼斯矩阵法计算光路中光的偏振态变换过程,并推导出被测滚转角与相位变化量间的测量公式。在此基础上,采用光的偏振和晶体光学理论,分析了测量过程中机床俯仰、偏摆运动误差造成的敏感元件(即1/2波片)倾斜所引起的测量误差。分析结果表明,1/2波片在倾斜角度小于2°的情况下所引起的测量误差小于0.1%,对测量精度影响较小,从而论证了正交偏振光相位法高精度测量机床滚转角的可行性。 |
| 关 键 词： | 滚转角 1/2波片 运动误差 测量误差 |
Measurement Error Analysis for Machine Tool Roll Error Measurement Due to Inclined Half Wave Plate |
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| ZHONG Lihong , WANG Zhao , TANG Shanzhi , GAO Jianmin , GUO Junjie.Measurement Error Analysis for Machine Tool Roll Error Measurement Due to Inclined Half Wave Plate[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,2013,47(5):99-103. | |
| Authors: | ZHONG Lihong WANG Zhao TANG Shanzhi GAO Jianmin GUO Junjie |
| Institution: | 1.School of Mechanical Engineering,Xi’an Jiaotong University,Xi’an 710049,China;2.State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering,Xi’an Jiaotong University,Xi’an 710049,China; 3.Shaanxi Hengtong Intelligent Machines Co.,Ltd.,Xi’an 710049,China) |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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