| 金刚石薄膜光学透过性能的研究 |
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| 引用本文： | 万静,苟立,廖戎,岑贵俐,李享禄.金刚石薄膜光学透过性能的研究[J].西南民族学院学报(自然科学版),2003,29(5):548-550. |
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| 作者姓名： | 万静 苟立 廖戎 岑贵俐 李享禄 |
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| 作者单位： | 西南民族大学化学与环境保护工程学院，四川大学无机材料系，西南民族大学化学与环境保护工程学院，西南民族大学化学与环境保护工程学院，西南民族大学化学与环境保护工程学院 成都 610041，成都 610065，成都 610041，成都 610041，成都 610041 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助课题(69876026). |
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| 摘 要： | 研究了金刚石薄膜的厚度、表面粗糙度及其成分对金刚石薄膜光学透过率的影响,采用AFM观察金刚石膜的表面形貌并测试其表面粗糙度Ra值;用XPS仪测试了金刚石膜成分;用UV-365分光光度仪测试了光学透过率.结果表明:表面粗糙度是影响金刚石薄膜光学透过率的重要因素,其降低一倍,光学透过率增加两倍多.要提高金刚石薄膜的光学透过率,应大力降低表面粗糙度.
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| 关 键 词： | 金刚石膜 表面粗糙度 光学透过率 |
| 文章编号： | 1003-2843(2003)05-0548-03 |
| 修稿时间： | 2003年6月3日 |
A study of optical transparency of diamond film |
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| WAN Jing,GOU li,LIAO Rong,LI Xiang-lu,CEN Gui-li.A study of optical transparency of diamond film[J].Journal of Southwest Nationalities College(Natural Science Edition),2003,29(5):548-550. |
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| Authors: | WAN Jing GOU li LIAO Rong LI Xiang-lu CEN Gui-li |
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| Abstract: | The effects of thickness, surface roughness and composition of optical transparency of diamond film are studied here. AFM is used to observe the surface shape and determine the value of surface roughness; XPS is used to determine the composition of each diamond film; UV-365 light spectrum detector is used to determine optical transparency. The results show that surface roughness is the most important factor, and when it decreased by once, the optical transparency increases by two times. Thus, the surface roughness should be decreased as far as possible to obtain high optical transparency. |
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| Keywords: | diamond film roughness optical transparency |
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