| Pb（In1/2Nb1/2）O3-Pb（Mg1/3Nb2/3）O3-PbTiO3弛豫铁电薄膜厚度尺寸效应研究 |
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| 引用本文： | 贾慧霞,杨嘉倩,沈逸尘,谢济舟,段志华,王飞飞.Pb（In1/2Nb1/2）O3-Pb（Mg1/3Nb2/3）O3-PbTiO3弛豫铁电薄膜厚度尺寸效应研究[J].上海师范大学学报(自然科学版),2023,52(5):574-581. |
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| 作者姓名： | 贾慧霞 杨嘉倩 沈逸尘 谢济舟 段志华 王飞飞 |
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| 作者单位： | 上海师范大学 数理学院, 上海 200234;上海师范大学附属中学宝山分校, 上海 200444 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（11974250） |
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| 摘 要： | 新一代弛豫铁电薄膜Pb（In1/2Nb1/2）O3-Pb（Mg1/3Nb2/3）O3-PbTiO3（PIMNT）因兼具优异的电学性能与高的相变温度,在国内外获得广泛关注.为了探究不同薄膜厚度对PIMNT薄膜的结构及电学性能的影响,通过溶胶凝胶法制备了150 nm~1 μm不同厚度的PIMNT薄膜,对其形貌结构以及电学性能进行了对比研究,在此基础上进一步研究了极化对其电学性能的影响.实验结果表明：随着厚度的增加,薄膜介电常数先增加后略有降低,剩余极化强度先增大后减小,矫顽场逐渐增大；在极化电压为18 V、极化温度和时间分别为100℃和5 min时,1 μm厚度PIMNT薄膜的介电常数和损耗在100 Hz下分别为1 009和0.022,室温下的热释电系数达6.85×10-4 C·m-2·K-1,是目前主流的锆钛酸铅（PZT）薄膜的3倍左右.
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| 关 键 词： | Pb（In1/2Nb1/2）O3-Pb（Mg1/3Nb2/3）O3-PbTiO3（PIMNT）薄膜 厚度尺寸效应 电学性能 极化 热释电系数 |
| 收稿时间： | 2023/8/20 0:00:00 |
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