| 不同退火温度下ZnO薄膜表面形貌的演变及粗化机制 |
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| 引用本文： | 刘莎,史雅琴.不同退火温度下ZnO薄膜表面形貌的演变及粗化机制[J].大连海事大学学报(自然科学版),2006,32(2):101-105. |
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| 作者姓名： | 刘莎 史雅琴 |
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| 作者单位： | 大连海事大学机电与材料工程学院 辽宁大连116026 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射方法在Si(001)制备ZnO薄膜,利用原子力显微镜对不同退火温度的ZnO薄膜表面形貌进行表征.结果表明:薄膜的微观形貌、表面粗糙度和分形维数取决于退火温度的变化.在退火温度从室温上升到1000℃过程中,薄膜表面粗糙度逐渐降低,700℃降至最小,而后又迅速粗糙.探讨了不同退火温度下薄膜表面的粗糙机理.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 磁控溅射 表面形貌 功率谱密度 分形维数 |
| 文章编号： | 1006-7736(2006)02-0101-05 |
| 收稿时间： | 2006-01-03 |
| 修稿时间： | 2006年1月3日 |
Evolution and coarsening mechanism of surface morphology of ZnO film at different annealed temperatures |
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| LIU Sha,SHI Ya-qin.Evolution and coarsening mechanism of surface morphology of ZnO film at different annealed temperatures[J].Journal of Dalian Maritime University,2006,32(2):101-105. |
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| Authors: | LIU Sha SHI Ya-qin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO film magnetron sputting surface morphology power spectrum density fractal dimension |
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