| CVD金刚石薄膜的织构分析 |
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| 引用本文： | 毛卫民,陈楠.CVD金刚石薄膜的织构分析[J].北京科技大学学报,2000,33(3):259-261. |
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| 作者姓名： | 毛卫民 陈楠 |
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| 作者单位： | 1. 北京科技大学材料科学与工程学院, 北京 100083
2. 北京科技大学材料科学与工程学院, 北京 100083 石油大学北京材料科学与工程系, 北京 102200 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);863-715-Z3803; |
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| 摘 要： | 采用极图和取向分布函数法分析ＣＶＤ金刚石江膜的不同织构，分析表明，高的多重性因子使得｛１１０｝面织构有更高的出现概率，具体分析了｛２２１｝面织构出现的孪生机制，强调了织构与性能关系研究的重要性，并推荐使用先进织构分析手段。
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 面织构 CVD 化学气相沉积 织构生成 |
| 修稿时间： | 2000年4月10日 |
Texture Analysis of CVD Diamond Thin Films |
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| MAO Weimin,CHEN Nan.Texture Analysis of CVD Diamond Thin Films[J].Journal of University of Science and Technology Beijing,2000,33(3):259-261. |
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| Authors: | MAO Weimin CHEN Nan |
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| Abstract: | Different textures of CVD diamond thin films are analyzed using the methods of pole figure and orientation distribution function. It is shown that the higher multiplicity leads to the higher appearance possibility of {110} fiber texture. The formation mechanism of {221} fiber texture by means of twinning effect is discussed. The importance of the systematic investigation on the relatonship between tetures and properties is emphasized, and the advanced methods for texture analysis are recommended. |
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| Keywords: | diamond thin film the texture CVD texture formation |
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