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向硅芯片的极限挑战
引用本文：广濑全孝,程君实.向硅芯片的极限挑战[J].日本科技信息,1993(2):1-2.
作者姓名：广濑全孝  程君实
摘    要：
关 键 词：硅芯片  集成电路  三维LSI技术  超微细化  非晶硅
本文献已被 维普 等数据库收录！
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