| Nd及其与Fe,Mn共掺杂ZnO薄膜的结构与发光特性 |
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| 引用本文： | 文军,陈长乐.Nd及其与Fe,Mn共掺杂ZnO薄膜的结构与发光特性[J].云南大学学报(自然科学版),2008,30(6). |
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| 作者姓名： | 文军 陈长乐 |
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| 作者单位： | 1. 西北工业大学,应用物理系,陕西,西安,710072;渭南师范学院,物理系,陕西,渭南,714000
2. 西北工业大学,应用物理系,陕西,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目，陕西省教育厅科研计划项目，渭南师范学院科研摹金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了未掺杂ZnO薄膜和Nd及其与Fe,Mn共掺杂ZnO薄膜.通过XRD分析表明,未掺杂ZnO薄膜沿c轴择优生长,掺杂ZnO薄膜偏离了正常生长,薄膜为纳米多晶结构.应用AFM观测所有薄膜的表面形貌,掺杂使ZnO薄膜表面粗糙.室温光致发光谱显示,薄膜出现了395nm的强紫光和495 nm的弱绿光带.Nd掺杂ZnO薄膜的PL谱线峰值强度减弱,Nd与Fe,Mn共掺杂ZnO薄膜的PL谱线峰值强度增强,分析了掺杂引起PL峰强度变化的原因.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 掺杂 射频磁控溅射 结构 光致发光\ |
Investigation of structural and luminescence properties of Nd-doped ZnO thin film and TM(Fe,Mn)-doped ZnO thin films |
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| WEN Jun,CHEN Chang-le.Investigation of structural and luminescence properties of Nd-doped ZnO thin film and TM(Fe,Mn)-doped ZnO thin films[J].Journal of Yunnan University(Natural Sciences),2008,30(6). |
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| Authors: | WEN Jun CHEN Chang-le |
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