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| 用PECVD制备的薄膜H2敏元件研究① | |
| 引用本文： | 王长虹,金建东.用PECVD制备的薄膜H2敏元件研究①[J].云南大学学报(自然科学版),1997(1). |
| 作者姓名： | 王长虹 金建东 |
| 作者单位： | 电子部四十九所 |
| 摘 要： | 用ＰＥＣＶＤ法制备了具有较高灵敏度与选择性的Ｈ２薄膜元件 |
| 关 键 词： | 等离子体，PECVD，薄膜 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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