| 半导陶瓷湿度传感器的阻抗—湿度特性 |
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| 引用本文： | 胡绪洲.半导陶瓷湿度传感器的阻抗—湿度特性[J].云南大学学报(自然科学版),1993,15(4):323-328. |
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| 作者姓名： | 胡绪洲 |
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| 作者单位： | 云南大学物理系 |
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| 摘 要： | 用二氧化锆、二氧化硅、磷酸和其它掺杂剂制作各种半导瓷湿度传感器。电导的加强是依靠水的吸附和毛细凝聚。随着相对湿度逐步从5％增大到100％,在20℃和1kHz时,阻抗由2×10~8Ω减小到2×10~3Ω。电阻随湿度改变的响应时间在5s以下,为了降低多元氧化物半导瓷的阻抗,研究了多孔瓷体中掺杂纯金属或金属氧化物的效果,对一种最简单的制作半导瓷湿度传感器的方法作了具体介绍。推导了半导瓷湿度传感器的通用的阻抗—湿度特性方程式,并且用以计算一些实际样品的阻抗—湿度特性曲线,获得理论结果同实验测量之间互相一致。
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| 关 键 词： | 湿度传感器 阻抗 湿度 半导体陶瓷 |
Impedance-Humidity Characteristics of Semiconducting Ceramic Moisture Sensors |
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| Hu Xuzhou.Impedance-Humidity Characteristics of Semiconducting Ceramic Moisture Sensors[J].Journal of Yunnan University(Natural Sciences),1993,15(4):323-328. |
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| Authors: | Hu Xuzhou |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | i semiconducting ceramic moisture sensor impedance-humidity characteris-tic response time |
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