| 图像处理耦合机器视觉的芯片表面缺陷检测研究与应用 |
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| 引用本文： | 李如平,徐珍玉,吴房胜.图像处理耦合机器视觉的芯片表面缺陷检测研究与应用[J].湖北民族学院学报(哲学社会科学版),2015(2):210-214. |
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| 作者姓名： | 李如平 徐珍玉 吴房胜 |
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| 作者单位： | 1. 安徽工商职业学院电子信息系,安徽合肥,231131
2. 农业物联网技术集成与应用重点实验室,安徽合肥,230088 |
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| 基金项目： | 安徽省科技攻关计划项目(13011031029、1201a0301008)；安徽省厅级自然科研项目(KJ2011B069、KJ2013Z105)；安徽省对外科技合作计划项目(1403062028)． |
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| 摘 要： | 微电子工业中芯片表面外观检查需求已广泛存在,而人眼检测已愈来愈不能对应当前自动化、数字化的要求.当前已有图像处理技术应用在电子芯片外观检查上,但往往没有整套的系统,只是针对某个问题提出算法或解决方法.对此,提出了一个图像处理耦合机器视觉的芯片表面缺陷检查系统,并在软件硬件上集成实现.首先设计并搭建光源取像平台;然后基于轮廓定位芯片ROI区域,识别各种缺陷.最后,引入IO卡控制传动伺服、读码器记录芯片ID、基于Socket通信完成电算统计,从而完善整个系统.对比实验结果显示:与人工检测方法相比,所提方案具备更高的效率和精度.
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| 关 键 词： | 机器视觉 ROI 芯片检测 Socket 图像处理 |
Research and Application on the Chip Surface Defect Inspection Based on Image Processing and Machine Vision |
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| LI Ruping,XU Zhenyu,WU Fangsheng.Research and Application on the Chip Surface Defect Inspection Based on Image Processing and Machine Vision[J].Journal of Hubei Institute for Nationalities(Natural Sciences),2015(2):210-214. |
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| Authors: | LI Ruping XU Zhenyu WU Fangsheng |
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| Institution: | LI Ruping;XU Zhenyu;WU Fangsheng;Department of Electronic Information,Anhui Business Vocational College;Key Laboratory of Agriculture Io T Technology Integration and Application,Ministry of Agriculture; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | machine vision ROI chip detection socket image processing |
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