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Cu_2O透明导电薄膜的制备技术及应用
引用本文:张朝奎,周艳文.Cu_2O透明导电薄膜的制备技术及应用[J].鞍山科技大学学报,2012(4).
作者姓名:张朝奎  周艳文
作者单位:辽宁科技大学材料成型与组织性能控制省重点实验室;
基金项目:国家自然科学基金项目(51172101)
摘    要:氧化亚铜(Cu2O)具有优越的光电性质,是一种具有广泛用途的材料。本文概述了国内外氧化亚铜(Cu2O)透明导电薄膜的多种制备技术;详细介绍了磁控溅射、电化学沉积、热氧化法等工艺在Cu2O薄膜制备中的研究现状,及其在太阳能电池上的应用;对比了不同工艺条件下Cu2O薄膜的性能,并指出制备Cu2O薄膜中的一些问题。

关 键 词:CuO薄膜  磁控溅射  热氧化  电化学沉积  太阳能电池
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