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| 溅射法制备ZnS：Er^3＋薄膜的微结构研究 | |
| 引用本文： | 柳兆洪,陈谋智.溅射法制备ZnS：Er^3＋薄膜的微结构研究[J].厦门大学学报(自然科学版),1997,36(5):693-695. |
| 作者姓名： | 柳兆洪 陈谋智 |
| 摘 要： | 利用射溅射控溅射法制备掺铒硫化锌薄膜，用Ｘ射线衍射和Ｘ射线光电子能谱技术。研究薄膜微结构，发现薄膜中多晶沉积有择优取向趋势，掺杂的铒有表面集聚现象，这将对薄膜的发态产生影响。 |
| 关 键 词： | 微结构 溅射法 硫化锌 薄膜 铒 半导体 |
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