| 硅衬底硫化锌薄膜发光器件的研制 |
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| 引用本文： | 陈松岩,曾明刚,王水菊,陈谋智,蔡加法,林爱清,邓彩玲.硅衬底硫化锌薄膜发光器件的研制[J].厦门大学学报(自然科学版),2003,42(6):723-726. |
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| 作者姓名： | 陈松岩 曾明刚 王水菊 陈谋智 蔡加法 林爱清 邓彩玲 |
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| 作者单位： | 1. 厦门大学物理学系
2. 厦门大学分析和测试中心,福建,厦门,361005 |
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| 基金项目： | 福建省自然科学基金(A0110006)，厦门大学自选课题基金(Y07007)资助 |
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| 摘 要： | 用双舟热蒸发技术在硅衬底上制备硫化锌电致发光薄膜．用XRD、XPS技术和电致发光谱分析技术．研究该薄膜的微结构与发光特性．发现硅衬底上硫化锌薄膜与硫化锌粉末在晶体结构上存在差异，掺入的稀土元素铒呈三价．电致发光谱为Er^3 的发光谱线．硅衬底硫化锌发光薄膜器件可与硅器件工艺兼容．
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| 关 键 词： | 硅衬底 硫化锌薄膜 发光器件 双舟热蒸发技术 电致发光谱 半导体发光材料 |
| 文章编号： | 0438-0479(2003)06-0723-04 |
| 修稿时间： | 2003年1月8日 |
Fabrication of the ZnS Thin Film Electroluminescence Devices on Silicon Substrate |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon substrates zinc sulfide films |
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