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| 溅射法制备ZnS∶Er~(3 )薄膜的微结构研究 | |
| 引用本文： | 柳兆洪,陈谋智,陈振湘,孙书农,刘瑞堂.溅射法制备ZnS∶Er~(3 )薄膜的微结构研究[J].厦门大学学报(自然科学版),1997(5). |
| 作者姓名： | 柳兆洪 陈谋智 陈振湘 孙书农 刘瑞堂 |
| 作者单位： | 厦门大学物理学系 |
| 摘 要： | 利用射频磁控溅射法制备掺铒硫化锌薄膜，用Ｘ射线衍射和Ｘ射线光电子能谱技术，研究薄膜微结构，发现薄膜中多晶沉积有择优取向趋势，掺杂的铒有表面集聚现象，这将对薄膜的激发态产生影响． |
| 关 键 词： | 射频磁控溅射，微结构，激发态 |
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