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Ga_(1-x)Al_xAs/GaAs双异质结激光器的液相外延研究
引用本文:全宝富,杜国同,汤广平,苗盛,苗忠礼,邓希敏.Ga_(1-x)Al_xAs/GaAs双异质结激光器的液相外延研究[J].吉林大学学报(理学版),1983(4).
作者姓名:全宝富  杜国同  汤广平  苗盛  苗忠礼  邓希敏
作者单位:吉林大学电子科学系 (全宝富,杜国同,汤广平,苗盛,苗忠礼),吉林大学电子科学系(邓希敏)
摘    要:本文报导了Ga_(1-x)Al_xAs/GaAs双异质结激光器液相外延过程中,有关组份、浓度、生长速率控制的一些实验结果。主要内容是Ga_(1-x)Al_xAs层的组份、平均生长速率随溶液中Al含量的变化和杂质Te在GaAs、Ga_(1-x)Al_xAs层中的掺杂行为等。利用所得结果可方便地控制外延层的组份、厚度和掺杂浓度。

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