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| 衬底偏压对γ’-Fe4N薄膜磁性的影响 | |
| 引用本文： | 赵利军,王丽丽,宫杰,郑伟涛.衬底偏压对γ’-Fe4N薄膜磁性的影响[J].吉林大学学报(理学版),2008,46(5). |
| 作者姓名： | 赵利军 王丽丽 宫杰 郑伟涛 |
| 作者单位： | [1]长春大学理学院,吉林长春130022 [2]吉林大学材料科学与工程学院,吉林长春130012 |
| 摘 要： | 采用直流磁控溅射方法，以Ar／N2（N2／（Ar＋N2）=10％）为放电气体，在Si（100）单晶衬底上获得了γ＇-Fe4N薄膜样品。利用x射线衍射（XRD）和振动样品磁强计（VSM）研究衬底偏压对γ＇-Fe4N薄膜样品的影响。结果表明，随着衬底负偏压的增大，γ＇-Fe4N薄膜样品的晶胞参数减小，Fe和N的化合效率与样品的致密度提高，表面缺陷减少，矫顽力降低。 |
| 关 键 词： | γ＇-Fe4N薄膜 衬底偏压 磁性 |
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