| 线列式分室连续PECVD系统制备弱光非晶硅太阳电池的研究 |
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| 引用本文： | 王庆章,赵庚申,许盛之,王宗畔,耿新华.线列式分室连续PECVD系统制备弱光非晶硅太阳电池的研究[J].南开大学学报,2007,40(6):82-85,90. |
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| 作者姓名： | 王庆章 赵庚申 许盛之 王宗畔 耿新华 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津300071 |
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| 摘 要： | 从非晶硅太阳电池在弱光条件下工作机理的特点出发,研究了不同工艺条件对电池特性参数的影响,介绍了自主研制的先进的线列式分室连续PECVD系统及工艺技术,分析了在该设备上制造出的高质量弱光非晶硅太阳电池的性能.实验结果表明,该工艺技术能够有效提高太阳电池性能质量.
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| 关 键 词： | 弱光非晶硅太阳电池 分室连续沉积 掺杂 列式 连续 PECVD 系统 弱光条件 非晶硅太阳电池 研究 System Continuous Solar Cell 性能质量 结果 实验 制造 设备 分析 工艺技术 自主研制 影响 特性参数 |
| 文章编号： | 0465-7942（2007）06-0082-04 |
| 收稿时间： | 2007-06-15 |
| 修稿时间： | 2007年6月15日 |
Development of Weak-light a-Si Solar Cell with Continuous PECVD System of In-line Chambers |
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| Wang Qingzhang,Zhao Gengshen,Xu Shengzhi,Wang Zongpan,Geng Xinhua.Development of Weak-light a-Si Solar Cell with Continuous PECVD System of In-line Chambers[J].Acta Scientiarum Naturalium University Nankaiensis,2007,40(6):82-85,90. |
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| Authors: | Wang Qingzhang Zhao Gengshen Xu Shengzhi Wang Zongpan Geng Xinhua |
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| Abstract: | on the base of is introduced. PECVD is the The effects of the vary art condition to the solar cell parameters was researched special mechanism of the a-si solar cell under weak-lights. The PECVD system With analysis to the cells manufactured with the equipment, it can be say that effective way to promote the quality of cells. |
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| Keywords: | weak light a-Si solar cell distributed and continuous PECVD adulteration |
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