| 磁悬浮转子微陀螺电容结构设计 |
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| 引用本文： | 黄晓刚,刘武,邵诗逸,陈文元,张卫平.磁悬浮转子微陀螺电容结构设计[J].世界知识,2006(1). |
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| 作者姓名： | 黄晓刚 刘武 邵诗逸 陈文元 张卫平 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助项目(2002AA745120)，国家自然科学基金资助项目(60402003)，教育部科学技术研究重大项目资助项目(重大0307) |
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| 摘 要： | 为了实现磁悬浮转子微陀螺的电容检测,使用数值积分方法计算了新型磁悬浮转子微陀螺的电容值与转子倾斜角度的关系。计算确定了电容极板尺寸,电容的连接采用了差动电容的连接方式。通过电容检测电路,检测到了小角度输入范围内的陀螺输出信号。检测结果表明:该电容结构对于静态角度输入具有较好的线性响应,该微陀螺原形的电容结构能够检测到的转子倾斜角度可达到0.1°,对应的电容变化约为1 000 aF,满足了微陀螺对电容检测的要求。
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| 关 键 词： | 磁悬浮 微陀螺 电容检测 |
Design of capacitance structure of micro gyroscope with electromagnetically levitated rotor |
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| HUANG Xiao-gang,LIU Wu,SHAO Shi-yi,CHEN Wen-yuan,ZHANG Wei-ping.Design of capacitance structure of micro gyroscope with electromagnetically levitated rotor[J].World Affairs,2006(1). |
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| Authors: | HUANG Xiao-gang LIU Wu SHAO Shi-yi CHEN Wen-yuan ZHANG Wei-ping |
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| Keywords: | electromagnetic levitating micro gyroscope capacitance detection |
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