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CdIn_2O_4纳米氧化物制备及氯气敏感特性分析
引用本文:施云波,胡东升,赵文杰,冯侨华,王立权.CdIn_2O_4纳米氧化物制备及氯气敏感特性分析[J].哈尔滨商业大学学报(自然科学版),2010,26(3):360-362,371.
作者姓名:施云波  胡东升  赵文杰  冯侨华  王立权
作者单位:1. 哈尔滨工程大学,机械工程博士后科研流动站,哈尔滨,150001;哈尔滨理工大学,测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室,哈尔滨,150080
2. 哈尔滨理工大学,应用科学学院,哈尔滨,150080
3. 哈尔滨理工大学,测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室,哈尔滨,150080
4. 哈尔滨工程大学,机械工程博士后科研流动站,哈尔滨,150001
基金项目:国家863高技术研究发展计划资助项目,中国博士后基金项目,黑龙江省博士后项目 
摘    要:以In(NO3)3和Cd(NO3)2为原料,采用Sol-Gel法合成N型CdIn2O4半导体氧化物纳米材料,通过500~800℃退火处理得到4种温度参数的纳米氧化物材料粉体,按照陶瓷半导体气体传感器工艺制成厚膜气敏元件.利用SEM对材料进行形貌表征,和XRD对材料的晶体结构进行分析,材料粒径尺寸在50 nm左右.测试结果表明,600℃退火烧结的纳米材料性能良好,元件在加热电压为3V时性能稳定,加热功耗约为200 mW;在50×10-6时灵敏度为32倍,响应恢复时间分别为90 s和180 s,最低可检测到1×106.

关 键 词:氧化铟  纳米氧化物  氯气传感器

Study on fabrication of CdIn2O4 nano composite oxide and sensitivity analysis of Cl2
SHI Yun-bo,HU Dong-sheng,ZHAO Wen-jie,FENG Qiao-hua,WANG Li-quan.Study on fabrication of CdIn2O4 nano composite oxide and sensitivity analysis of Cl2[J].Journal of Harbin University of Commerce :Natural Sciences Edition,2010,26(3):360-362,371.
Authors:SHI Yun-bo  HU Dong-sheng  ZHAO Wen-jie  FENG Qiao-hua  WANG Li-quan
Abstract:
Keywords:
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