| 偏置电压交变的时分反馈闭环加速度计 |
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| 引用本文： | 黄靖清,赵猛,张婷婷,陈中建,伍峰,洪理琛,刘大河,张雅聪,鲁文高.偏置电压交变的时分反馈闭环加速度计[J].北京大学学报(自然科学版),2014,50(4):729-733. |
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| 作者姓名： | 黄靖清 赵猛 张婷婷 陈中建 伍峰 洪理琛 刘大河 张雅聪 鲁文高 |
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| 作者单位： | 北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871;北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871;北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871;北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871;北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871;北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871;北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871;北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871;北京大学微纳电子学系微纳米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871 |
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| 基金项目： | 863计划(2008AA042201)资助 |
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| 摘 要： | 提出一种改进结构的时分反馈闭环加速度计,该结构使用负系数的PID控制器,只需要一个运算放大器。改进后的结构减小了读出电路的芯片面积,同时省去一个运算放大器和两个大电阻,因此能降低系统噪声。读出电路采用0.35μm高压CMOS工艺,并包含自检测功能。测试结果显示,在自检测模式下,闭环加速度计的线性度为99.72%。在DC到200 Hz内,输出噪声电压均方根值约为140μV。
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| 关 键 词： | 比例积分微分控制器 闭环 加速度计 自检测 微机电系统 |
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