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高丰度硅-28同位素的分离技术
引用本文:周明胜,钟松,程维娜,曾实.高丰度硅-28同位素的分离技术[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(6):729-731.
作者姓名:周明胜  钟松  程维娜  曾实
作者单位:清华大学,工程物理系,北京,100084
基金项目:国家"九五"科技攻关项目(95-219)
摘    要:同位素纯硅片具有特殊的物理性质,在信息技术领域有着非常广阔的应用前景。为获得高丰度28Si,利用国产的高速气体离心机,选择SiF4作为分离的工作介质,对硅同位素进行了离心分离实验。通过单机分离实验,调整气体离心机的有关参数,摸索出适合级联分离的单机参数,同时得到气体离心机分离硅同位素的单位质量数的全分离系数γ0。利用由4台离心机组成的级联,经过6个阶段的分离,得到了28Si丰度达到99.5%的样品。实验结果表明,离心法分离硅同位素是完全可行的。

关 键 词:气体离心分离  硅同位素  浓缩
文章编号:1000-0054(2003)06-0729-03
修稿时间:2002年4月5日

Enrichment of 28Si to high concentrations by a gas centrifuge
ZHOU Mingsheng,ZHONG Song,CHENG Weina,ZENG Shi.Enrichment of 28Si to high concentrations by a gas centrifuge[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2003,43(6):729-731.
Authors:ZHOU Mingsheng  ZHONG Song  CHENG Weina  ZENG Shi
Abstract:
Keywords:gas  centrifuges  silicon isotope  enrichment
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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