| 薄层材料导温系数的测量 |
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| 引用本文： | 顾毓沁,李欣,胡山.薄层材料导温系数的测量[J].清华大学学报(自然科学版),1990(5). |
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| 作者姓名： | 顾毓沁 李欣 胡山 |
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| 作者单位： | 工程力学系
(顾毓沁，李欣)，工程力学系(胡山) |
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| 摘 要： | 在微电子学、光学、材料科学诸领域广泛应用的薄层材料的导温系数常用周期热流法测量。在对测量原理和实验方法研究的过程中，提出用半导体制冷元件通以调制电流来实现周期加热，在薄型样品的不同点粘或压接热电偶来测量温度，由两点温度变化的相位差来确定导温系数。同时为克服热电偶接合的偶然因素引起误差而采用双向加热的补偿方法．实测了厚度为５０～２００μｍ的不锈钢和铜箔，取得良好结果。
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| 关 键 词： | 导温系数 材料 测量 热流法 |
Measurements of Thermal Diffusivity of Thin Materials |
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| Gn Yuqin,Li Xin,Hu Shan.Measurements of Thermal Diffusivity of Thin Materials[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),1990(5). |
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| Authors: | Gn Yuqin Li Xin Hu Shan |
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| Institution: | Department of Engineering Mechanics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thermal diffusivity materials measurements heat-flow method |
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