| 叉指式硅微加速度计的结构设计 |
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| 引用本文： | 袁光,丁衡高,高钟毓,董景新.叉指式硅微加速度计的结构设计[J].清华大学学报(自然科学版),1998(11). |
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| 作者姓名： | 袁光 丁衡高 高钟毓 董景新 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系 |
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| 基金项目： | 国防科工委重点预研项目 |
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| 摘 要： | 为了满足对中等精度的微机械加速度计的需求，讨论了一种硅片溶解法制造的平面叉指式加速度计，其敏感轴平行于检测质量平面。为了分析该种加速度计的分辨率和固有频率，分析了其机械模型和数值解，并且用有限元方法对几种设计尺寸进行了仿真。着重研究了几个关键尺寸，如检测质量厚度和梁的宽度的改变对分辨率和固有频率的影响，并且给出了此种结构在当前条件下的所能得到的测量分辨率极限。最后，给出了两种尺寸的设计，其大小约为１．５ｍｍ×１．５ｍｍ，检测质量厚１０μｍ和１５μｍ，相对于当地重力加速度，分辨率分别为５×１０－３和３×１０－３。
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| 关 键 词： | 加速度计 分辨率 有限元分析（FEA） |
Design a multi finger silicon micromechanical accelerometer |
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| YUAN Guang,DING Henggao,GAO Zhongyu DONG Jingxin.Design a multi finger silicon micromechanical accelerometer[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),1998(11). |
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| Authors: | YUAN Guang DING Henggao GAO Zhongyu DONG Jingxin |
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| Institution: | YUAN Guang,DING Henggao,GAO Zhongyu DONG Jingxin Department of Precision Instruments and Mechanology,Tsinghua University,Beijing 100084,China |
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| Abstract: | |
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