| 基于表面等离子体波共振技术的精密角度传感器 |
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| 引用本文： | 郭继华,邓为民.基于表面等离子体波共振技术的精密角度传感器[J].清华大学学报(自然科学版),2000,40(2):12-14. |
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| 作者姓名： | 郭继华 邓为民 |
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| 作者单位： | 清华大学物理系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金! ( 95 6 75 0 78) |
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| 摘 要： | 为解决纳米技术中体积紧凑、高分辨率的测角问题，分析了表面等离子体波共振(SPR)的相位和振幅特征,根据共振角附近SPR的相位对入射角的高度敏感性，提出了基于表面等离子体波共振原理进行微小角度测量的方法，它具有测量分辨率高和体积紧凑的优点。研制了实验装置并进行了测角实验,测量分辨率达1.4×10
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| 关 键 词： | 高分辨角度测量 表面等离子体波共振 角度调制 |
| 文章编号： | 1000-0054(2000)02-0012-03 |
| 修稿时间： | 1999-04-28 |
Precision angular sensor based on surface plasma resonance |
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| GUO Jihua,DENG Weimin.Precision angular sensor based on surface plasma resonance[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2000,40(2):12-14. |
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| Authors: | GUO Jihua DENG Weimin |
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| Institution: | GUO Jihua,DENG Weimin;
(Department of Physics,Tsinghua University,Beijing 100084,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | high resolution angle measurement surface plasmon resonance angular modulation |
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