| 电容式微机械加速度计闭环系统的零偏 |
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| 引用本文： | 吴天准,董景新,刘云峰.电容式微机械加速度计闭环系统的零偏[J].清华大学学报(自然科学版),2005,45(2):201-204. |
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| 作者姓名： | 吴天准 董景新 刘云峰 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家 "十五" 科技攻关项目 (41308050103) |
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| 摘 要： | 为解释电容式微加速度计闭环系统零点不惟一的特殊现象,对其力学模型和电路特性进行理论分析,推导了闭环输出、零偏、零偏重复性、检测盲区宽度等公式,建立新的静平衡模型.通过零偏与预载的关系实验,定量分析了零偏不重合度、零偏重复性等,并对实验数据进行误差分析.该静平衡模型揭示了动齿的运动规律,证明检测盲区宽度和零偏重复性成正比,成功解释了两个零点问题.指出提高零偏重复性指标的方法,对于微机械结构的设计、预载的选择也具有指导意义.
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| 关 键 词： | 电容式微加速度计 微机电系统 闭环系统 检测盲区 零偏 零偏重复性 |
| 文章编号： | 1000-0054(2005)02-0201-04 |
| 修稿时间： | 2004年2月20日 |
Closed-loop system bias in a capacitive micro-accelerometer |
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| WU Tianzhun,DONG Jingxin,Liu Yunfeng.Closed-loop system bias in a capacitive micro-accelerometer[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2005,45(2):201-204. |
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| Authors: | WU Tianzhun DONG Jingxin Liu Yunfeng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | capacitive micro-accelerometer micro-electro- mechanical system (MEMS) close-loop blind area bias bias repeatability |
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