| 微波等离子体设备场分布的仿真和实验 |
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| 引用本文： | 刘亮,张贵新,朱志杰,罗承沐.微波等离子体设备场分布的仿真和实验[J].清华大学学报(自然科学版),2008,48(1):28-31. |
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| 作者姓名： | 刘亮 张贵新 朱志杰 罗承沐 |
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| 作者单位： | 清华大学,电机工程与应用电子技术系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 为使激发微波等离子体的腔体设计更便捷并详细了解腔内的电场分布,迫切希望有仿真工具支持.该文介绍了一台环形波导微波等离子体设备,利用一种有限元软件对反应腔内的电场分布和功率密度进行仿真,并运用光电探头和水负载温升法实际测量反应腔内的对应参数.实验结果表明: 反应腔内的电场分布、功率密度均与仿真结果大致接近,证实运用此种计算工具对微波等离子体反应腔进行数字化设计是可行的.同时,该软件仿真得到的腔内电场分布,能够为微波等离子体激发过程的研究提供指导.
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| 关 键 词： | 微波等离子体 电场强度 环形波导 有限元软件 |
| 文章编号： | 1000-0054(2008)01-0028-04 |
| 修稿时间： | 2006年12月19 |
Simulations and experimental results for a microwave plasma system |
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| LIU Liang,ZHANG Guixin,ZHU Zhijie,LUO Chengmu.Simulations and experimental results for a microwave plasma system[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2008,48(1):28-31. |
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| Authors: | LIU Liang ZHANG Guixin ZHU Zhijie LUO Chengmu |
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