| 基于振动模型的精密工作台运动控制 |
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| 引用本文： | 叶佩青,杨开明,尹文生.基于振动模型的精密工作台运动控制[J].清华大学学报(自然科学版),2006,46(2):206-209. |
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| 作者姓名： | 叶佩青 杨开明 尹文生 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 精密工作台高加减速的运动反力作用于机台上,会引起机台机械共振,使轨迹跟踪精度降低、定位建立时间加长,针对这一问题,提出了基于精密工作台振动模型,采用极点配置、模型参数匹配的方法设计P ID控制器。通过实验,与PD 加速度前馈的控制方式相比较,当工作台以120mm/s、1 g的加减速运动时工作台轨迹跟踪精度提高了2μm,定位建立时间缩短了10m s。结果表明,采用基于振动模型设计的P ID运动控制具有较好的动态响应和轨迹跟踪性能。
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| 关 键 词： | PID控制 直线电机 机械共振 精密工作台 极点配置 |
| 文章编号： | 1000-0054(2006)02-0206-04 |
| 修稿时间： | 2005年3月17日 |
Precision stage motion controller based on a vibration model |
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| YE Peiqing,YANG Kaiming,YIN Wensheng.Precision stage motion controller based on a vibration model[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2006,46(2):206-209. |
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| Authors: | YE Peiqing YANG Kaiming YIN Wensheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PID control linear motor mechanical resonance precision stage pole placement |
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