| Cu-In膜成分偏析对CIS膜结构的影响 |
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| 引用本文： | 方玲,张弓,庄大明,赵明,郑麒麟,丁晓峰,吴敏生.Cu-In膜成分偏析对CIS膜结构的影响[J].清华大学学报(自然科学版),2004,44(5):593-596. |
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| 作者姓名： | 方玲 张弓 庄大明 赵明 郑麒麟 丁晓峰 吴敏生 |
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| 作者单位： | 清华大学,机械工程系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家教育振兴计划资助项目 |
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| 摘 要： | 为了研究Cu-In薄膜中的局部偏聚现象及其对硒化后CuInSe2(CIS)薄膜中各元素分布和组织结构的影响,采用中频磁控溅射工艺,溅射Cu-In合金靶,制备了总体Cu/In原子数比接近1的Cu-In预制膜,并在硒气氛下硒化制备了CIS太阳能电池吸收层。采用扫描电子显微镜和能量弥散X射线分析技术对Cu-In预制膜及CIS薄膜的表面形貌、成分进行了观察和分析,采用X射线衍射和Raman散射谱表征了薄膜的组织结构。结果表明:Cu-In预制膜主要由Cu11In9相组成,但存在豆状的富In区;在总体Cu/In原子数比接近1时,硒化后可得到各元素分布均匀、具有化学计量比的CIS,且晶体结构为单一的黄铜矿相。CIS薄膜的导电类型为P型,电阻率达到1.2kΩ.cm。
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| 关 键 词： | 太阳能电池 Cu-In薄膜 CuInSe2(CIS)薄膜 固态硒化 磁控溅射 |
| 文章编号： | 1000-0054(2004)05-0593-04 |
| 修稿时间： | 2003年8月26日 |
Effects of composition segregation in Cu-In precursor films on microstructures of CIS films |
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| FANG Ling,ZHANG Gong,ZHUANG Daming,ZHAO Ming,ZHENG Qilin,DING Xiaofeng,WU Minsheng.Effects of composition segregation in Cu-In precursor films on microstructures of CIS films[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2004,44(5):593-596. |
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| Authors: | FANG Ling ZHANG Gong ZHUANG Daming ZHAO Ming ZHENG Qilin DING Xiaofeng WU Minsheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | solar cell Cu-In precursor film CIS thin film selenization magnetron sputtering |
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