| 基于衰减全反射结构的微小位移的实时测量 |
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| 引用本文： | 欧阳坤,况庆强,肖平平,乐建新.基于衰减全反射结构的微小位移的实时测量[J].江西师范大学学报(自然科学版),2008,32(3). |
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| 作者姓名： | 欧阳坤 况庆强 肖平平 乐建新 |
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| 作者单位： | 1. 江西师范大学物理与通信电子学院,江西南昌,330027
2. 宜春学院物理科学与工程技术学院,江西宜春,336000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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江西省教育厅科研项目 |
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| 摘 要： | 利用衰减全反射结构制作出一种新型实时测量微小位移的传感器.方法是用带有一定入射角宽度的光束代替传统的角度扫描,在计算机屏幕上同时显示标志波导模式的一组暗线.当外界工作条件发生变化,暗线就会随之移动,利用屏幕上暗线的移动来测量微小位移.研究表明,该器件测量实时性强、精确度较高、设备简单、成本低、易于调节等诸优点,预计在微加工等领域具有潜在的应用价值.
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| 关 键 词： | 衰减全反射 微小位移 传感器 衰减 反射结构 微小位移 实时测量 Technique Total Reflection Based Displacement Small 价值 应用 微加工 调节 成本 设备 精确度 实时性 器件 研究 计算机屏幕 |
Real-Time Measurement in Small Displacement Based on the Attenuated Total Reflection Technique |
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| OUYANG Kun,KUANG Qing-qiang,XIAO Ping-ping,LE Jian-xin.Real-Time Measurement in Small Displacement Based on the Attenuated Total Reflection Technique[J].Journal of Jiangxi Normal University (Natural Sciences Edition),2008,32(3). |
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| Authors: | OUYANG Kun KUANG Qing-qiang XIAO Ping-ping LE Jian-xin |
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| Institution: | 1.College of Physics and Communication Electronics;Jiangxi Normal University;Nanchang 330027;China;2.School of Physics Science & Engineering Technology;Yichun University;Yichun Jiangxi 336000;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ATR small displacement sensor |
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