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| 工作距离和探头选择对FESEM图像质量影响探析① | |
| 引用本文： | 徐泽忠,林中清.工作距离和探头选择对FESEM图像质量影响探析①[J].佳木斯大学学报,2019,37(4). |
| 作者姓名： | 徐泽忠 林中清 |
| 作者单位： | 合肥学院分析测试中心,安徽 合肥,230601;安徽大学现代实验技术中心,安徽 合肥,230039 |
| 摘 要： | 为了探讨不同工作距离下考察探头和样品的相对位置的选择对最后测试结果的影响,以泡沫镍及介孔二氧化硅小球这两种典型样品为例,通过变换探头及电镜参数的方法,进行了对比研究。分析结果表明:工作距离越大,分辨率不一定越差。旨在为电镜测试中工作距离和探头选择提供参考依据。 |
| 关 键 词： | 工作距离 探头选择 FESEM图像质量 探析 |
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