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| 基于FPGA的晶振膜厚控制系统设计 | |
| 引用本文： | 朱文武.基于FPGA的晶振膜厚控制系统设计[J].佳木斯大学学报,2019(1). |
| 作者姓名： | 朱文武 |
| 作者单位： | 安徽机电职业技术学院电气工程系 |
| 摘 要： | 通过以CYCLONE EP2C35 FPGA芯片为平台,有机地结合嵌入式软件设计和光学镀膜技术,运用石英晶体监控法,通过采集石英晶体监控的信号数据,采用测量膜厚算法和PID控制算法进行综合处理,在Nios Ⅱ IDE开发环境集成的C/OS-Ⅱ嵌入式操作系统下,设计薄膜厚度监测控制系统的镀膜监控菜单显示界面,实现基于FPGA的薄膜厚度监测控制系统。 |
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