|
|||||
|
|
| 氮气流量对CrN薄膜结构及其性能的影响 | |
| 摘 要： | 采用直流反应磁控溅射方法,在氮气和氩气混合气氛下并在镁锂合金上成功制备出了CrN薄膜,并研究了氮气流量对薄膜的择优取向,XRD显示氮气流量对CrN薄膜单向的生成以及择优取向影响很大,并且在氮气流量为20sccm时,薄膜对基底的耐腐性能的最佳. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||
|
||||||||
|
||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |