用于微光摄像的高灵敏度电子轰击电荷耦器件

文章综述微光成像的电子轰击电荷耦合器件（EBCCD）的进展。EBCCD是将像管的荧光屏以对电子灵敏的背照明、减薄CCD代替，将电子图像直接转变为视频信号，其在所有光照等级下，特别是在极低微光下的调制传递函数（MTF）、分辨力、信噪比、余辉等均优于像增强器耦合CCD（ICCD）。文中较为详细地叙述了倒像式EBCCD设计与减薄工艺，给出各种类型倒像式EBCCD像管的技术参数，分析和比较了近贴式与倒像式EBCCD与ICCD的性能，指出了EBCCD在军用夜视技术与民用技术未来发展中的地位与重要性。