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| 电容测微仪动态特性的改进及标定方法 | |
| 引用本文： | 张宇华,王晓琳.电容测微仪动态特性的改进及标定方法[J].北京理工大学学报,1999,19(1):87-91. |
| 作者姓名： | 张宇华 王晓琳 |
| 作者单位： | 1. 北京理工大学光电工程系 2. 山东工业大学机械工程学院 3. 天津大学精密仪器与光电子工程学院 |
| 基金项目： | 教育部高等学校博士学科点专项科研基金;; |
| 摘 要： | 目的 对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进。方法 以８阶Ｂｕｔｔｅｒｗｏｒｔｈ滤波器ＭＡＸ２９１为核心元件，设计了该系统的动态测量电路，提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法。结果与结论 改进后的电容测微仪在±１０μｍ的量程内非线性误差最大不超过０．８０％，重复性精度优于０．１５％，测量精度优于０．１０μｍ，频响范围达４．２ｋＨｚ。 |
| 关 键 词： | 滤波电路 频率响应 电容测微仪 标定 |
| 修稿时间： | 1997-12-25 |
Improvement and Calibration Methods of the Dynamic Characteristics of Capacitance Micrometers |
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| Zhang Yuhua.Improvement and Calibration Methods of the Dynamic Characteristics of Capacitance Micrometers[J].Journal of Beijing Institute of Technology(Natural Science Edition),1999,19(1):87-91. | |
| Authors: | Zhang Yuhua |
| Abstract: | |
| Keywords: | filtering circuit frequency response capacitance micrometer calibration |
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