| 两种等离子体化学气相沉积制备类金刚石薄膜摩擦性研究 |
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| 引用本文： | 胡立琼,张跃飞,王瑜,陈强,葛袁静.两种等离子体化学气相沉积制备类金刚石薄膜摩擦性研究[J].北京理工大学学报,2005,25(Z1):259-262. |
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| 作者姓名： | 胡立琼 张跃飞 王瑜 陈强 葛袁静 |
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| 作者单位： | 北京印刷学院,等离子体物理与材料研究室,北京,102600 |
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| 摘 要： | 采用平行板电容耦合射频辉光放电化学气相沉积(RF-PECVD)装置,在镀有TiN/Ti过渡层的碳钢表面制备类金刚石膜(DLC),以及直接在基材表面制备掺氮的类金刚石膜,研究成膜内应力减小机理.通过对成膜表面的傅里叶变换红外光谱(FTIR)、激光Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)的测试,分析成膜表面的组分和微观结构对薄膜的性能影响.以薄膜表面摩擦因数的大小,初步评估试样的耐磨程度,研究α-C:H及α-C:H(N)薄膜的摩擦学性能与其结构的关系.
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| 关 键 词： | α-C:H(N)薄膜 等离子体化学气相沉积 摩擦磨损性能 等离子体 化学 气相沉积 类金刚石薄膜 摩擦性 研究 Doped Steel Gradient DLC Films Property 关系 微观结构 摩擦学性能 程度 试样 评估 大小 摩擦因数 薄膜表面 |
| 文章编号： | 1001-0645(2005)增刊-259-04 |
| 修稿时间： | 2005年6月20日 |
The Friction Property of DLC Films Prepared in Gradient Steel and N Doped DLC |
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| HU Li-qiong,ZHANG Yue-fei,WANG Yu,CHEN Qiang,GE Yuan-jing.The Friction Property of DLC Films Prepared in Gradient Steel and N Doped DLC[J].Journal of Beijing Institute of Technology(Natural Science Edition),2005,25(Z1):259-262. |
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| Authors: | HU Li-qiong ZHANG Yue-fei WANG Yu CHEN Qiang GE Yuan-jing |
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| Abstract: | N doped DLC films and DLC films prepared in gradient steel are deposited by RF-PECVD, Fourier transmission infrared spectrum (FTIR), Laser Raman spectrum and X-ray photoelectron spectrum (XPS), were employed to analyze the bonding states and chemical composition in the film. It is noticed that the friction coefficient of the DLC films decrease with the increase of N2 flow rate or deposited on the gradient steel. |
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| Keywords: | N doped DLC RF-PECVD friction coefficient |
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