作传感器用的硅应变片

半导体应变片有比金属型应变片较高的灵敏度和较低的讯号处理要求测量传感器往往使用机械元件和电气元件,机械元件在有关量改变时将发生位移或变形,而电气元件就产生相应的电压或电流讯号。其通常的构造是利用一个可偏转机件的弯曲,来施力于一个悬臂梁上。而紧固在这梁上联接成一个惠斯顿电桥的应变片就产生了所需的输出讯号。