| 软X光激光In衰减膜的制备及测量 |
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| 引用本文： | 顾牡,汤学峰,吴广明,陈玲燕.软X光激光In衰减膜的制备及测量[J].同济大学学报(自然科学版),2000,28(3):312-315. |
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| 作者姓名： | 顾牡 汤学峰 吴广明 陈玲燕 |
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| 作者单位： | 同济大学,玻耳固体物理研究所,上海,200092 |
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| 基金项目： | 青年激光技术基金资助项目，国家 86 3基金资助项目 |
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| 摘 要： | 通过对制备工艺的摸索 ,制备出用于软X光激光实验的In衰减膜 ;利用α能谱测厚仪对In衰减膜的质量厚度进行了测量 ;通过俄歇电子谱并结合Ar离子刻蚀对In膜表面氧化及氧元素质量分数的深度分布进行了分析 .
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| 关 键 词： | In衰减膜 α能谱测厚仪 俄歇电子谱 |
Preparation and Surface Research of Indium Soft X-ray Laser Attenuation Foil |
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| GU Mu,TANG Xue-feng,WU Guang-ming,CHEN Ling-yan.Preparation and Surface Research of Indium Soft X-ray Laser Attenuation Foil[J].Journal of Tongji University(Natural Science),2000,28(3):312-315. |
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| Authors: | GU Mu TANG Xue-feng WU Guang-ming CHEN Ling-yan |
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