| 半导体制造系统基于资源的Petri网调度优化 |
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| 引用本文： | 邵志芳,刘仲英.半导体制造系统基于资源的Petri网调度优化[J].同济大学学报(自然科学版),2008,36(5):674-679. |
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| 作者姓名： | 邵志芳 刘仲英 |
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| 作者单位： | 1. 同济大学,经济与管理学院,上海,200092;上海财经大学,信息管理与工程学院,上海,200433
2. 同济大学,经济与管理学院,上海,200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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中国博士后科学基金 |
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| 摘 要： | 对半导体制造系统调度难点,分两步予以解决:第一步,提出三种策略解决系统建模问题,包括基于资源的Petri网模型构建模式,对系统结构建模;引入整合性定义方法对系统功能建模;以及通过多种变迁种类的引入实现对系统行为建模.第二步,在此模型基础上,引入蚁群优化算法对模型求调度优化解.与仿真结果的对比显示此方案取得了明显效果.
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| 关 键 词： | 半导体制造 建模 Petri网 整合性定义方法论 调度 半导体 制造系统 基于资源 Petri 调度优化 Systems Fabrication Wafer Optimization 明显效果 方案 显示 仿真结果 优化解 模型基 蚁群优化算法 行为建模 种类 变迁 功能建模 |
| 文章编号： | 0253-374X(2008)05-0674-06 |
| 修稿时间： | 2006年9月26日 |
Resource-Based Petri-net Scheduling Optimization for Wafer Fabrication Systems |
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| SHAO Zhifang,LIU Zhongying.Resource-Based Petri-net Scheduling Optimization for Wafer Fabrication Systems[J].Journal of Tongji University(Natural Science),2008,36(5):674-679. |
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| Authors: | SHAO Zhifang LIU Zhongying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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