基于实验大数据评价电子器件性能和制备的有效性

在大量实验方案中快速找出成功率较高的优质方案不仅可以缩短实验时间，而且也能大幅降低实验成本。由于通过实验方式寻找最优方案的经济成本较高，而应用软件模拟的时间成本又很大；同时，在进行综合分析时，参数方法也存在指标权重确定困难、忽视指标个性信息等弱点。因此，以增强型AlGaN/GaN HEMT器件掺杂为例，给出一种快速寻找和筛选优质实验方案的数学模型。然后，给出一种综合评价器件优劣的非参数方法。通过实例分析表明：该方法在增强型AlGaN/GaN HEMT器件掺杂方案筛选和预估方面具有较好的效果和应用前景。对充分利用实验大数据来提高工作效率、预测技术前沿、有效降低制备成本等方面具有一定的指导意义。