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| 关于掺HCl硅氧化层错生长的动力学模型 | |
| 引用本文： | 顾世洧.关于掺HCl硅氧化层错生长的动力学模型[J].内蒙古大学学报(自然科学版),1980(2). |
| 作者姓名： | 顾世洧 |
| 作者单位： | 内蒙古大学理论物理研究室 |
| 摘 要： | 对掺HCl硅氧化诱生堆垛层错生长的动力学作了进一步的研究,重建了描写掺HC硅氧化诱生堆垛层错生长的动力学方程。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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