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| 砂轮测量用白光干涉仪三维运动机台设计 | |
| 引用本文： | 钟浩明,崔长彩,余卿.砂轮测量用白光干涉仪三维运动机台设计[J].杭州师范大学学报(自然科学版),2015(1):72-76. |
| 作者姓名： | 钟浩明 崔长彩 余卿 |
| 作者单位： | 华侨大学机电及自动化学院 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(51075160);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0116) |
| 摘 要： | 为了实现对工件表面质量进行预测和控制,对砂轮表面的三维形貌测量、表征和评价就显得尤为重要.设计了一款砂轮检测用白光垂直扫描干涉仪三维运动机台,主要分为XY向位移平台部分、砂轮旋转定位部分、桥式立柱部分以及含有柔性铰链的Z向微位移系统部分,通过有限元静动力学分析优化机台结构,使其满足使用要求.实现XY向位移平台单脉冲步长0.3125μm,Z向精级机构行程15μm,精度0.03μm. |
| 关 键 词： | 白光干涉仪 有限元分析 位移平台 |
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