| 基于Web的键合图法MEMS系统级多能量域仿真平台 |
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| 引用本文： | 刘旸,江平宇.基于Web的键合图法MEMS系统级多能量域仿真平台[J].系统仿真学报,2005,17(2):341-346. |
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| 作者姓名： | 刘旸 江平宇 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械工程学院CAD/CAM研究所,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (50145006、50375118)，教育部科技重点项目 (2001-066)。 |
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| 摘 要： | 通过对MEMS系统级仿真方法的研究，讨论了运用键合图法进行MEMS系统级多能量域仿真的可行性，提出了一种采用键合图／模拟框图混合表示进行MEMS动特性仿真的方法，并在该方法的基础上开发了一套基于功率键合图的MEMS系统级多能量域仿真软件平台“xi_Bond。同时一个基于键合图多通口场与结型结构的微元件库(包括梁、质量块、连接点、静电叉指等微元件)也在该仿真平台上得以实现，从而更好的支持了MEMS“Top Down”设计流程，并为系统快速建模提供了方便。最后通过一个多能量域MEMS系统仿真实例对该平台的有效性进行了验证。
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| 关 键 词： | 微机电系统 系统级建模 多能量域仿真 键合图 多通口场 结型结构 |
| 文章编号： | 1004-731X(2005)02-0341-06 |
| 修稿时间： | 2003年11月6日 |
Web Based Coupled Energy Domains Simulation Platform of MEMS: A Bond Graph Approach |
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| LIU Yang,JIANG Ping-yu.Web Based Coupled Energy Domains Simulation Platform of MEMS: A Bond Graph Approach[J].Journal of System Simulation,2005,17(2):341-346. |
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| Authors: | LIU Yang JIANG Ping-yu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS system level modeling coupled simulation bond graph multiport field junction structures |
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