| 一种金属基聚合物电热微驱动器的设计与仿真 |
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| 引用本文： | 吴义伯,丁桂甫,张小波,王亚攀,张丛春.一种金属基聚合物电热微驱动器的设计与仿真[J].系统仿真学报,2010,22(7). |
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| 作者姓名： | 吴义伯 丁桂甫 张小波 王亚攀 张丛春 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,200240 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划"863"项目，教育部培育基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种用于双稳态MEMS继电器的面外运动金属基聚合物电热微驱动器,下层结构使用了环氧树脂型SU-8胶作为驱动层,中间层为蛇形镍电阻丝发热层,上层结构为金属偏置层,构成的多层膜结构在常温下保持悬空部分平直,通电时产生的焦耳热使微驱动器件发生面外运动.先对设计的微驱动器进行了概念分析,再利用ANSYSTM有限元分析软件的多物理场(电-热-机械耦合)对热驱动器的性能进行了仿真与优化.当SU-8驱动层厚度、热电阻丝厚度、偏置层厚度比分别为12:4:4μm时,所设计器件的驱动性能最佳,即在0.4V驱动电压下,响应时间10ms时微驱动器产生驱动位移28μm,输出力为1mN,功耗为10mW.
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| 关 键 词： | 面外运动 电热驱动 双层膜效应 优化仿真 |
Design and Simulation of Polymeric Out-of-plane Electrothermal Actuator Embedded with Metal |
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| WU Yi-bo,DING Gui-fu,ZHANG Xiao-bo,WANG Ya-pan,ZHANG Cong-chun.Design and Simulation of Polymeric Out-of-plane Electrothermal Actuator Embedded with Metal[J].Journal of System Simulation,2010,22(7). |
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| Authors: | WU Yi-bo DING Gui-fu ZHANG Xiao-bo WANG Ya-pan ZHANG Cong-chun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SU-8 |
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