| 基于有色赋时Petri网的半导体生产线建模技术研究 |
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| 引用本文： | 曹政才,乔非.基于有色赋时Petri网的半导体生产线建模技术研究[J].系统仿真学报,2007,19(A01):210-213. |
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| 作者姓名： | 曹政才 乔非 |
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| 作者单位： | 同济大学CIMS研究中心,上海200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（70531020;60674076）;国家“973”计划基金资助项目（2002CB312202）;中国博士后基金资助 |
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| 摘 要： | 在深入了解半导体制造过程的基础上,为了有效分析半导体生产线调度与控制性能,提出了有色赋时Petri网的半导体生产线建模方法。该模型,根据生产线所存在主要调度子问题及其之间的相互关系,将半导体生产线划分为投料控制模块、路径调度模块和工件调度模块,这样可以有效降低模型的复杂性和提高模型的可重用性。建立以一个拥有3个工作中心、6台设备的半导体生产线Petri网模型,并对模型进行分析。最后指出了下一步的工作目标。
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| 关 键 词： | 半导体生产线 有色赋时Petri网 建模 调度 |
| 文章编号： | 1004-731X（2007）S1-0210-04 |
| 收稿时间： | 2007-02-27 |
| 修稿时间： | 2007-07-03 |
Research on Colored Timed Petri Net Based Modeling Technology of Semiconductor Wafer Fabrication |
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| CAO Zheng-cai, QIAO Fei.Research on Colored Timed Petri Net Based Modeling Technology of Semiconductor Wafer Fabrication[J].Journal of System Simulation,2007,19(A01):210-213. |
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| Authors: | CAO Zheng-cai QIAO Fei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | semiconductor wafer fabrication colored timed Petri net modeling scheduling |
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